「サブフェムトインクジェット加工装置」待望の新シリーズ
遂に登場！！
MEMS展に出展いたします
『ワイドレンジインクジェット加工装置』
独自開発のスーパーイン クジェット（SIJ）ヘッドと大口径ヘッドのデュアル搭載により、異種材料の複合パターニングや 超微細線と大面積のワイドレンジパターニングを1台で実現しました。
超微細
インクジェットでオンデマンド造形
～シングルミクロン微細加工とフェムトリッター微量塗布～
独立行政法人産業技術
総合研究所ナノテクノロジー研究部門で開発された超微細インクジェット：スーパーインク
ジェットは、現在市販されている家庭用インクジェットプリンターに使われているインクジェットヘッドの吐出できる液滴サイズに比べ、体積で1/1000以
下の超微細液滴の吐出が可能です。
この技術を用いて、シングルミクロンレベルの微細加工や、フェムトリッターレベルの微量塗布をオンデマンドで実現できます。
シングルミクロン線幅での
超微細配線
配線幅3μmの配線事例
（格子間距離=15μm）
- 2010年7月22日
第21回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展にて
(7月28日(水)～7月30 日(金) 東京ビッグサイト）
「サブフェムトインクジェット加工装置」待望の新シリーズを
発表いたしました!!
製造業エンジ ニア向け情報サイト【イプロス】にて
カタログダウンロードが可能です。
2010年6月23日
東京事務所を移転いたしました。
移転先住所は『会社概要』をご参照下さ い。 - 2010年5月17日
加工技術(2010年5月号 5月10日発行)に
SIJ技術が掲載されました。
P.6「サブフェムトインクジェット加工装置」
http://www.sen-i.co.jp/kakou/kakou.html
2010年4月21日
第21回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展
(7月28日(水)～7月30日(金) 東京ビッグサイ ト)
に出展いたしました。
たくさんのご来場ありがとうございました。
http://www.micromachine.jp/top.html
