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サブフェムトインクジェット加工装置販売
サブフェムトインクジェット加工装置は、デスクトップにおけるほどきわめてコンパクトです。大気中・常温で、フォトリソグラフ工法に匹敵する微細なパターンを直接描画することができます。
詳細については営業担当までお問い合わせください。
Ｔｅｌ:029-855-7057
E-mail:
contact@sijtechnology.com
サブフェムトインクジェット加工装置の実績と用途
企業、大学、海外などを含め 100件超の受託実績
 線幅3μm 格子間距離15μm |
 金ナノインク 線幅5μm、ピッチ50μm |
 回路描画 線幅10μm以下 |
 マイクロレンズ 直径10μm |
 QRコード サイズ□250μm内形成 |
低抵抗な超微細銅配線 ・線幅5μmの銅配線 ・銅の配線抵抗率8.1μΩ・cm (プレスリリース:2011年10月11日) |
 有機CMOS 東京大学 染谷・関谷研究室 ＜写真提供＞ |
 メタマテリアル (光伝導アンテナ) 大阪大学 萩行研究室 ＜写真提供＞ |
アルミニウムトンネルピット配列 首都大学東京 益田研究室 ＜写真提供＞ |
◆最先端技術 ・ プリンタブルエレクトロニクス ・太陽電池 ・タッチパネル ・LED
◆既存技術代替 ・部分めっき ・レジスト塗布 ・微量ディスペンス ・バンプ形成
◆オプティクス ・フォトマスク形成 ・マイクロレンズ ・マイク ロフィルタ
◆バイオ ・たんぱく質のパターニング ・細胞の足場形成 ・超精密マイクロアレイ
「超微細インクジェット」の3大特長
１．世界最少吐出量
独立行政法人産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門で開発された「サブフェムトインクジェット加工装置」 は、現在市販されているインクジェットプリンターに使われているインクジェットヘッドの吐出できる液滴サイズに比べ、直径で1/10以下（体積で1/1000以下）の 超微小液滴の吐出が可能です。市販のインクジェットプリンターが吐出する液滴は1pl（直径約13μm）で基板上に落下すると広がってしまいますが、サブフェムトインクジェット加工装置だと、吐出できる液体は1fl以下（直径1μm以下）であり、基板上に落下した後も、広がらずに直径1μm以下が可能です。装置は、デスクトップにおけるほどきわめてコンパクトです。大気中・常温で、フォトリソグラフ工法に匹敵する微細なパターンを直接描画することができます。
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◆世界最少吐出量
これまでのピエゾヘッドの限界は1pl（1ピコリットル）。弊社のイン
クジェットは独自の吐出方式
により、最少吐出量0.1fl（0.1フェムトリットル）で市販されているものの中では世界最少吐出量です。
吐出量：0.1fl～10pl
◆ 広範囲な吐出量
吐出量は少ないだけでなく、0.1fl（フェムトリットル）～10pl（ピコリットル）まで対応可能です。
◆ 長時間連続描画
20μlのインクを5時間以上連続描画可能なため、インク代と同時に作業時間の削減が可能です。
２．高粘度対応
◆ 一台で多用途なインクジェット
粘度が高いものに対応可能なため、幅広い材料（金、銀、銅、ITOなどの導電インクや、レジスト、
UV硬化樹脂、タンパク質）の吐出が可能です。
◆ 材料を傷めない
高粘度の液体を加熱することなく、吐出可能です。
対応粘度：0.5～10，000cps（非加熱）
３．立体構造体形成
◆立体構造体形成や、精密印刷に利用可能
速乾性を活かして、立体構造体形成が可能です。
その他 高いユーザビリティーを誇るサブフェムトインクジェット
◆広範囲なインクに対応 専用インクでなくても使用可能で、幅広いインクを使用可能です。
◆簡単インク交換 わずか3分で交換可能です。
◆洗浄不要 ヘッドや供給系の洗浄が不要です。
◆大気中・常温での微細描画 デスクトップにおけるほどコンパクトなので、大気中・常温で、
フォトリソグラフ工法に匹敵する微細なパターンを直接描画することが可能です。
◆容易な塗布量変更 数値入力により、塗布量（ライン幅、ドット 径）の調整が即可能です。
◆基板前処理不要 事前に親液撥液パターニングが不要なので、手間が掛かりません。
◆高精度 分解能0.1μm、繰返し位置決め±0.2μmの精密パ ターニングが可能です。
◆アライメント機能 基板をCCDカメラにて位置合わせ可能です。
超微細インクジェット工法による受託加工
スーパーインクジェット技術を用いて、シングルミクロンレベルの微細加工や、フェムトリッターレベルの微量塗布が可能で、ご要求の製作仕様を頂いた後に御見積書を提出致します。
以下にスーパーインクジェットによる加工事例をご紹介します。
1．シングルミクロン線幅での超微細配線
・配線幅3μmの配線事例 （格子間距離=15μm）
・従来のインク ジェットによる描画との比較事例
 従来インクジェット による描画 |
 CADデータ |
 スーパーインクジェット による描画例 |
2．シングルミクロンレベルでの立体形状の形成
・Φ5μm高さ 20μmのマイクロバンプ事例
・Φ15μm高さ 30μmの中空円筒の形成事例
・格子間 20μmの交点に高さ15μmの突起形成事例
スーパーインクジェット技術によるビジネス展開
ご紹介した加工事例の他にも、フェムトリッターレベルの塗布量制御が可能な特長を活かせる分野への応用等、 様々な応用展開が考えれられます。受託加工を通して、スーパーインクジェット技術の特徴をご確認頂いた上で、新たなビジネスパートナーとしての関係へとステージアップさせて頂きます。
