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テクノロジー
Technology

株式会社SIJテクノロジは、独立行政法人産業技術総合研究所の研究成果を基に超微細インクジェットの研究開発を進めています。

超微細インクジェットの特徴

(独)産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門で開発された超微細インクジェットスーパーインクジェットは、現在市販されている家庭用インクジェットプリンターに使われているインクジェットヘッドの吐出できる液滴サイズに比べ、およそ1/10以下、(体積で1/1000以下)の超微細液滴の吐出が可能です。

受賞暦

2002年3月8日
第1回ナノテクノロジー総合展・技術会議Nanotech2002でナノテック大賞
超微細加工技術部門賞受賞
2004年4月1日
(独)産業技術総合研究所理事長賞本格研究受賞
2004年6月20日
産学官連携推進会議
日本経済団体連合会会長賞受賞
2006年4月19日
ICEP2005で発表した「Fine Pitch Micro-bumps and Micro-wires Printed by Super Inkjet
Technology」が、ベストペーパー賞を受賞

ナノ材料の精密配置

ナノテクノロジーの実用化にあたっては、必要なところに、必要な材料を精密に配置することはとても重要です。
超微細インクジェットを用いることにより、各種のナノ材料を基板上に精密に配列することが可能になります。

・機能性セラミクス

<写真提供>
産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門
飯島高志博士 提供

・導電性高分子

<写真提供>
産業技術総合研究所 ナノテクノロジー研究部門
水谷亘博士 提供

・カーボンナノチューブ

<写真提供>
九州大学 先導物質化学研究所
吾郷浩樹助教授 提供

マスクレス精密パターニング

液体で思い通りパターニングすることは、簡単そうで実はなかなか難しい課題です。

液体の表面張力により、バルジが発生することもあります。

超微細インクジェットによるパターニングでは、液体の乾燥固化現象を有効に利用しており、液体状態におけるパターンの乱れを最小化し、 精密なパターニングを提供します。


描画パターン

表面張力による
バルジ等の発生

従来インクジェット
による描画

CADデータ

スーパーインクジェットによる描画例

ナノペーストによる超微細配線描画

金属の超微粒子の融点はサイズ効果があります。

たとえば、直径が数ナノメートルの銀超微粒子の融点は、室温近傍にまで低下していると考えられています。

こうしたナノ粒子を主成分とする溶液をインクとして用いることで、超微細インクジェットにより、フォトリソグラフ法に匹敵する、線幅数 ミクロンの配線パターンが、マスクレス・常温・大気中で描画可能です。

立体構造形成

超微細液滴は、乾燥性が非常に高いために、液体状態で吐出した液滴が、たちまち乾燥します。

そのため、同一箇所に着弾させることで立体的に構造物を積み上げることが可能です。



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